Une spectroscopie électronique Auger AES) est souvent utilisé pour déterminer la composition chimique d'une mince couche microscopique d'une surface. Des particules appelées électrons sont typiquement destinés à la matière, ce qui déclenche l'effet Auger, dans lequel un électron de la couche interne d'un atome est enlevé, une particule de niveau supérieur prend sa place, et un autre électron est émis. Mené dans un ultra-vide, le test est généralement réalisé avec un canon à électrons, analyseur, détecteur, et l'enregistreur de données. L'information est généralement analysé graphiquement; la nature des pics permet généralement d'identifier ce que les composés sont présents dans l'échantillon.
Les faisceaux d'électrons sont souvent utilisés, bien que les rayons X soient parfois libérés à la place. Le type de matériau à l'essai détermine que l'on utilise; oxydes, par exemple, peuvent se dégrader s'ils sont exposés à des niveaux élevés d'électrons. Les substances peuvent être identifiées, car l'énergie d'un électron Auger est généralement propre à l'élément. En spectroscopie d'électrons Auger, les particules qui s'échappent ne sont généralement pas aussi énergique que d'autres. Ils ont généralement besoin d'être très proche de la surface pour pouvoir s'échapper, et tous les gaz présents pendant AES peuvent empêcher la particule d'atteindre le détecteur.
Un canon à électrons utilisé dans la spectroscopie des électrons Auger est généralement constitué d'une source de particules et une lentille qui focalise le faisceau. La lentille peut être électrostatique ou électromagnétique; dont l'un est utilisé dépend de la résolution requise. Un analyseur d'énergie d'électrons qui fait partie d'une technique de spectroscopie d'électrons Auger peut trier les particules émises par leurs niveaux d'énergie. L'analyseur peut soit être réalisé sous la forme d'un miroir cylindrique ou deux coquilles hémisphériques concentriques.
Les détecteurs à canaux multiples ou à l'unité-sont souvent utilisés pour la spectroscopie d'électrons Auger. Les données sont ensuite analysées par des ensembles de pics sur un graphique. Scans ne prennent généralement que quelques minutes à compléter, tandis que les mesures à haute résolution peuvent prendre jusqu'à 25 minutes. Une analyse de l'enquête identifie généralement les éléments sont présents, tandis qu'une autre analyse peut dire comment concentrées certains atomes sont. Si le faisceau est balayé à travers l'échantillon, puis une carte de la surface de mesure peut être produite.
La spectroscopie Auger sciences est souvent utilisée dans de nombreuses applications de la physique et de la chimie. En plus d'identifier des éléments sur des surfaces, il peut être utilisé pour détecter l'oxydation et à la corrosion aussi bien. La réponse de la température et de la fatigue liée peuvent être analysée en utilisant AES. La technique peut également être utilisée pour inspecter des circuits intégrés pour les contaminants, mais une limitation du procédé est qu'il existe souvent des dommages à la surface du matériau testé.
